标准概要

电子工业用气体六氟化硫

Gases for electronic industry―Sulphur hexaflouride

国家标准《电子工业用气体六氟化硫》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位黎明化工研究设计院有限责任公司、成都科美特氟业塑胶有限公司、青海信禾高精化工有限公司、佛山市华特气体有限公司、四川众力氟业有限责任公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、四川中测标物科技有限公司、上海仪盟电子科技有限公司。主要起草人黄晓磊、牛学坤、赖明贵、傅涛、刘长庆、任清贵等。 GB/T 18867-2002 （全部代替） GB/T 18867-2014 现行 20231011-T-469 正在批准

基础信息

起草单位

标准号

GB/T 18867-2014

发布日期

2014-12-22

实施日期

2015-07-01

全部代替标准

GB/T 18867-2002

标准类别

产品

中国标准分类号

G86

国际标准分类号

71.100.20 71 化工技术 71.100 化工产品 71.100.20 工业气体

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会

主管部门

国家标准委

起草人

黎明化工研究设计院有限责任公司

青海信禾高精化工有限公司

四川众力氟业有限责任公司

大连大特气体有限公司

上海仪盟电子科技有限公司

成都科美特氟业塑胶有限公司

佛山市华特气体有限公司

上海华爱色谱分析技术有限公司

四川中测标物科技有限公司

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申明

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