标准概要

电子工业用气体六氟化硫

Gases for electronic industry―Sulphur hexaflouride

国家标准《电子工业用气体六氟化硫》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位黎明化工研究设计院有限责任公司、成都科美特氟业塑胶有限公司、青海信禾高精化工有限公司、佛山市华特气体有限公司、四川众力氟业有限责任公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、四川中测标物科技有限公司、上海仪盟电子科技有限公司。主要起草人黄晓磊、牛学坤、赖明贵、傅涛、刘长庆、任清贵等。 GB/T 18867-2002 （全部代替） GB/T 18867-2014 现行 20231011-T-469 正在批准

基础信息

起草单位

标准号

GB/T 18867-2014

发布日期

2014-12-22

实施日期

2015-07-01

全部代替标准

GB/T 18867-2002

标准类别

产品

中国标准分类号

G86

国际标准分类号

71.100.20 71 化工技术 71.100 化工产品 71.100.20 工业气体

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会

主管部门

国家标准委

起草人

黎明化工研究设计院有限责任公司

青海信禾高精化工有限公司

四川众力氟业有限责任公司

大连大特气体有限公司

上海仪盟电子科技有限公司

成都科美特氟业塑胶有限公司

佛山市华特气体有限公司

上海华爱色谱分析技术有限公司

四川中测标物科技有限公司

推荐标准

GB/T 19142-2003 出口商品包装通则

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GB/T 17706-1999 销售预测报文

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GB/T 18115.2-2000 稀土氧化物化学分析方法电感耦合等离子体发射光谱法测定氧化铈中氧化镧、氧化镨、氧化钕、氧化钐、氧化铕、氧化钆、氧化铽、氧化镝、氧化钬、氧化铒、氧化铥、氧化镱、氧化镥和氧化钇量

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申明

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