标准概要

蓝宝石衬底片翘曲度测试方法

Test methods for warp of sapphire substrates

国家标准《蓝宝石衬底片翘曲度测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司。主要起草人薛抗美、魏明德、黄修康、杭寅、林清香、肖宗杰。 GB/T 31352-2014 现行

基础信息

标准号 GB/T 31352-2014

发布日期 2014-12-31

实施日期 2015-09-01

标准号 GB/T 31352-2014

发布日期 2014-12-31

实施日期 2015-09-01

起草单位

江苏协鑫软控设备科技发展有限公司

北京合能阳光新能源技术有限公司

中国科学院上海光学精密机械研究所

起草人

薛抗美

魏明德

林清香

肖宗杰

黄修康

杭寅

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