标准概要

Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法

Test method for crystal quality of III-nitride epitaxial layers

国家标准《Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中国科学院半导体研究所。主要起草人孙宝娟、赵丽霞、王军喜、曾一平、李晋闽。 GB/T 30653-2014 现行

基础信息

标准号 GB/T 30653-2014

发布日期 2014-12-31

实施日期 2015-09-01

标准号 GB/T 30653-2014

发布日期 2014-12-31

实施日期 2015-09-01

起草单位

中国科学院半导体研究所

起草人

孙宝娟

赵丽霞

李晋闽

王军喜

曾一平

推荐标准

申明

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