标准概要

俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则

Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers

国家标准《俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司。主要起草人李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔。 GB/T 31470-2015 现行

基础信息

标准号 GB/T 31470-2015

发布日期 2015-05-15

实施日期 2016-01-01

标准号 GB/T 31470-2015

发布日期 2015-05-15

实施日期 2016-01-01

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心

苏州晶瑞化学有限公司

中国电子技术标准化研究院

天津中环领先材料技术有限公司

起草人

李雨辰

何秀坤

李翔

刘筠

刘兵

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