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标准概要
电子工业用气体 锗烷
Gas for electronic industry—Germane
国家标准《电子工业用气体 锗烷》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 上海华爱色谱分析技术有限公司 、佛山市华特气体有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建) 、西南化工研究设计院 。 主要起草人 方华 、裴友宏 、郭秀丽 、林宇巍 、陈熔 、周鹏云 。 GB/T 31987-2015 现行
基础信息
标准号
GB/T 31987-2015
发布日期
2015-09-11
实施日期
2016-05-01
标准号
GB/T 31987-2015
发布日期
2015-09-11
实施日期
2016-05-01
起草单位
上海华爱色谱分析技术有限公司
中昊光明化工研究设计院有限公司
西南化工研究设计院
佛山市华特气体有限公司
国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)
起草人
方华
裴友宏
陈熔
周鹏云
郭秀丽
林宇巍
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