标准概要

电子工业用气体锗烷

Gas for electronic industry—Germane

国家标准《电子工业用气体锗烷》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位上海华爱色谱分析技术有限公司、佛山市华特气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建) 、西南化工研究设计院。主要起草人方华、裴友宏、郭秀丽、林宇巍、陈熔、周鹏云。 GB/T 31987-2015 现行

基础信息

标准号 GB/T 31987-2015

发布日期 2015-09-11

实施日期 2016-05-01

标准号 GB/T 31987-2015

发布日期 2015-09-11

实施日期 2016-05-01

起草单位

上海华爱色谱分析技术有限公司

中昊光明化工研究设计院有限公司

西南化工研究设计院

佛山市华特气体有限公司

国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)

起草人

方华

裴友宏

陈熔

周鹏云

郭秀丽

林宇巍

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