标准概要

太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定二次离子质谱法

Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry

国家标准《太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定二次离子质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、中铝宁夏能源集团有限公司、宁夏银星多晶硅有限责任公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、新特能源股份有限公司。主要起草人薛抗美、夏根平、肖宗杰、盛之林、范占军、蒋建国、林清香、徐自亮、王泽林、宋高杰、刘国霞。 GB/T 32281-2015 现行

基础信息

标准号 GB/T 32281-2015

发布日期 2015-12-10

实施日期 2017-01-01

标准号 GB/T 32281-2015

发布日期 2015-12-10

实施日期 2017-01-01

起草单位

江苏协鑫硅材料科技发展有限公司