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太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法

Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry
国家标准《太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 、北京合能阳光新能源技术有限公司 、中铝宁夏能源集团有限公司 、宁夏银星多晶硅有限责任公司 、洛阳鸿泰半导体有限公司 、新特能源股份有限公司 。 主要起草人 薛抗美 、夏根平 、肖宗杰 、盛之林 、范占军 、蒋建国 、林清香 、徐自亮 、王泽林 、宋高杰 、刘国霞 。 GB/T 32281-2015 现行
  基础信息
标准号 GB/T 32281-2015
发布日期 2015-12-10
实施日期 2017-01-01
标准号 GB/T 32281-2015
发布日期 2015-12-10
实施日期 2017-01-01
  起草单位
  江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
  中铝宁夏能源集团有限公司
  洛阳鸿泰半导体有限公司
  北京合能阳光新能源技术有限公司
  宁夏银星多晶硅有限责任公司
  新特能源股份有限公司
  起草人
  薛抗美
  夏根平
  范占军
  蒋建国
  王泽林
  宋高杰
  肖宗杰
  盛之林
  林清香
  徐自亮
  刘国霞
  推荐标准
  申明
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