标准概要

电子工业用气体六氟化钨

Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride

国家标准《电子工业用气体六氟化钨》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位中国船舶重工集团公司第七一八研究所、厦门钨业股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟电子科技有限公司。主要起草人郑秋艳、江海风、王占卫、方兰兰、林竹光、王志信、方华、杨仁、周鹏云。 GB/T 32386-2015 现行

基础信息

标准号 GB/T 32386-2015

发布日期 2015-12-31

实施日期 2016-07-01

标准号 GB/T 32386-2015

发布日期 2015-12-31

实施日期 2016-07-01

起草单位

中国船舶重工集团公司第七一八研究所

西南化工研究设计院有限公司

上海仪盟电子科技有限公司

厦门钨业股份有限公司

上海华爱色谱分析技术有限公司

起草人

郑秋艳

江海风

林竹光

王志信

周鹏云

王占卫

方兰兰

方华

杨仁

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