标准概要

表面化学分析二次离子质谱硅中砷的深度剖析方法

Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of arsenic in silicon

国家标准《表面化学分析二次离子质谱硅中砷的深度剖析方法》由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所。主要起草人马农农、陈潇、何友琴、王东雪。 GB/T 32495-2016 现行本标准等同采用ISO国际标准：ISO 12406:2010。采标中文名称:表面化学分析二次离子质谱硅中砷的深度剖析方法。

基础信息

标准号 GB/T 32495-2016

发布日期 2016-02-24

实施日期 2017-01-01

标准号 GB/T 32495-2016

发布日期 2016-02-24

实施日期 2017-01-01

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所

起草人

马农农

陈潇

何友琴

王东雪

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