标准概要

硅基MEMS制造技术体硅压阻加工工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process

国家标准《硅基MEMS制造技术体硅压阻加工工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、东南大学、北京青鸟元芯微系统科技有限公司。主要起草人张大成、王玮、李海斌、杨芳、黄贤、何军、刘冲、刘伟、周再发、刘军山、李婷、姜博岩。 GB/T 32815-2016 现行

基础信息

标准号 GB/T 32815-2016

发布日期 2016-08-29

实施日期 2017-03-01

标准号 GB/T 32815-2016

发布日期 2016-08-29

实施日期 2017-03-01

起草单位

北京大学

大连理工大学

北京青鸟元芯微系统科技有限公司

中机生产力促进中心

东南大学

起草人

张大成

王玮

黄贤

何军

周再发

刘军山

李海斌

杨芳

刘冲

刘伟

李婷

姜博岩

推荐标准

GB/T 16873-2006 散鳞镜鲤

GB/T 33061.5-2023 塑料动态力学性能的测定第5部分：非共振弯曲振动法

GB/T 41366-2022 畜禽肉品质检测水分、蛋白质、脂肪含量的测定近红外法

GB/T 17819-2017 添加剂预混合饲料中维生素B12的测定高效液相色谱法

GB/T 19709-2005 用于行政、商业和运输业电子数据交换基于EDI（FACT）报文实施指南的XML schema（XSD）生成规则

GB/T 42403-2023 激光器和激光相关设备激光光谱特性测量方法

GB/T 20444-2006 猪组织中四环素族抗生素残留量检测方法微生物学检测方法

GB/T 9234-1997 机动往复泵

GB/T 3246.1-2012 变形铝及铝合金制品组织检验方法第1部分：显微组织检验方法

GB/T 6113.105-2008 无线电骚扰和抗扰度测量设备和测量方法规范第1-5部分: 无线电骚扰和抗扰度测量设备 30MHz～1000MHz天线校准用试验场地

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

团体标准申请得要多少钱

国家团体标准

要怎么办理团体标准立项

团体标准范围

该如何做团体标准制定

水产团体标准

团体标准社会团体

《档案法》规定:机关

地方标准团体标准

有做团体标准的吗