标准概要

硅基MEMS制造技术体硅压阻加工工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process

国家标准《硅基MEMS制造技术体硅压阻加工工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、东南大学、北京青鸟元芯微系统科技有限公司。主要起草人张大成、王玮、李海斌、杨芳、黄贤、何军、刘冲、刘伟、周再发、刘军山、李婷、姜博岩。 GB/T 32815-2016 现行

基础信息

标准号 GB/T 32815-2016

发布日期 2016-08-29

实施日期 2017-03-01

标准号 GB/T 32815-2016

发布日期 2016-08-29

实施日期 2017-03-01

起草单位

北京大学

大连理工大学

北京青鸟元芯微系统科技有限公司

中机生产力促进中心

东南大学

起草人

张大成

王玮

黄贤

何军

周再发

刘军山

李海斌

杨芳

刘冲

刘伟

李婷

姜博岩

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