标准概要

硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process

国家标准《硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、北京青鸟元芯微系统科技有限公司。主要起草人张大成、杨芳、李海斌、王玮、何军、黄贤、刘冲、刘伟、邹赫麟、田大宇、姜博岩。 GB/T 32816-2016 现行

基础信息

标准号 GB/T 32816-2016

发布日期 2016-08-29

实施日期 2017-03-01

标准号 GB/T 32816-2016

发布日期 2016-08-29

实施日期 2017-03-01

起草单位

北京大学

大连理工大学

中机生产力促进中心

北京青鸟元芯微系统科技有限公司

起草人

张大成

杨芳

何军

黄贤

邹赫麟

田大宇

李海斌

王玮

刘冲

刘伟

姜博岩

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