标准概要

硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process

国家标准《硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、北京青鸟元芯微系统科技有限公司。主要起草人张大成、杨芳、李海斌、王玮、何军、黄贤、刘冲、刘伟、邹赫麟、田大宇、姜博岩。 GB/T 32816-2016 现行

基础信息

标准号 GB/T 32816-2016

发布日期 2016-08-29

实施日期 2017-03-01

标准号 GB/T 32816-2016

发布日期 2016-08-29

实施日期 2017-03-01

起草单位

北京大学

大连理工大学

中机生产力促进中心

北京青鸟元芯微系统科技有限公司

起草人

张大成

杨芳

何军

黄贤

邹赫麟

田大宇

李海斌

王玮

刘冲

刘伟

姜博岩

推荐标准

GB/T 3743.2-1983 卡套式端直角三通接头体

GB/T 38646-2020 信息安全技术移动签名服务技术要求

GB/T 38048.1-2020 表面清洁器具第1部分：试验材料和设备的通用要求

GB/T 10960-2005 木工机床锯片往复锯板机术语和精度

GB/T 7643-1987 紫胶原胶

GB/T 6901.6-2004 硅质耐火材料化学分析方法第6部分:EDTA容量法测定氧化铝量

GB/T 33787-2017 反应黄LS-3R（C.I.反应黄145）

GB/T 44959.1-2024 法庭科学第1部分：术语和定义

GB/T 17688-1999 土工合成材料聚氯乙烯土工膜

GB/T 3856-2005 单向纤维增强塑料平板压缩性能试验方法

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

农产品团体标准

中国团体标准

团体标准发布有哪些

团体标准跟行业标准的区别

养殖场标准是多少

团体标准方法

如何申请国家标准团体标准

cpqs团体标准

国家团体标准是什么

国标团体标准