标准概要

MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法

Wafer level test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive die performances

国家标准《MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位北京大学、中机生产力促进中心、北京必创科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学。主要起草人张威、程红兵、陈得民、李海斌、崔波、石云波、朱悦。 GB/T 33922-2017 现行

基础信息

标准号 GB/T 33922-2017

发布日期 2017-07-12

实施日期 2018-02-01

标准号 GB/T 33922-2017

发布日期 2017-07-12

实施日期 2018-02-01

起草单位

北京大学

北京必创科技股份有限公司

中北大学

中机生产力促进中心

中国电子科技集团公司第十三研究所

起草人

张威

程红兵

崔波

石云波

陈得民

李海斌

朱悦

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