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MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法

Wafer level test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive die performances
国家标准《MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法》 由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 北京大学 、中机生产力促进中心 、北京必创科技股份有限公司 、中国电子科技集团公司第十三研究所 、中北大学 。 主要起草人 张威 、程红兵 、陈得民 、李海斌 、崔波 、石云波 、朱悦 。 GB/T 33922-2017 现行
  基础信息
标准号 GB/T 33922-2017
发布日期 2017-07-12
实施日期 2018-02-01
标准号 GB/T 33922-2017
发布日期 2017-07-12
实施日期 2018-02-01
  起草单位
  北京大学
  北京必创科技股份有限公司
  中北大学
  中机生产力促进中心
  中国电子科技集团公司第十三研究所
  起草人
  张威
  程红兵
  崔波
  石云波
  陈得民
  李海斌
  朱悦
  推荐标准
  申明
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  关键词标签
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