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标准概要
光刻用石英玻璃晶圆
Quartz glass wafer for lithography
国家标准《光刻用石英玻璃晶圆》 由TC447(全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国建筑材料联合会。 主要起草单位 中国建材检验认证集团股份有限公司 、中建材衢州金格兰石英有限公司 、长沙韶光铬版有限公司 、中国建筑材料科学研究总院 、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心 。 主要起草人 吴洁 、王京侠 、王友军 、李弋舟 、花宁 、刘焕敏 、肖颂华 、聂兰舰 、张浩运 、杨晓会 、杨学东 、孔敏 、张应语 。 GB/T 34177-2017 现行
基础信息
标准号
GB/T 34177-2017
发布日期
2017-09-07
实施日期
2018-08-01
标准号
GB/T 34177-2017
发布日期
2017-09-07
实施日期
2018-08-01
起草单位
中国建材检验认证集团股份有限公司
长沙韶光铬版有限公司
国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心
中建材衢州金格兰石英有限公司
中国建筑材料科学研究总院
起草人
吴洁
王京侠
花宁
刘焕敏
张浩运
杨晓会
张应语
王友军
李弋舟
肖颂华
聂兰舰
杨学东
孔敏
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