机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件

国家标准《机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件》 由TC231（全国工业机械电气系统标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。 主要起草单位 中微半导体设备(上海)有限公司 、北京机床研究所 、上海微电子装备有限公司 、北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 、沈阳拓荆科技有限公司 、北京七星华创电子股份有限公司 、中晟光电设备（上海）有限公司 、理想太阳能（上海）有限公司 、盛美半导体设备（上海）有限公司 。 主要起草人 李天笑 、黄祖广 、王海涛 、田保峡 、郭和平 、沈红 、孙东曦 、潘菊凤 、孙岩 、刘忠武 、张志强 、李补忠 、薛瑞娟 。 GB/T 5226.33-2017 现行 本标准等同采用IEC国际标准：IEC 60204-33:2009。 采标中文名称:机械电气安全 机械电气设备 第33部分:半导体设备技术条件。