标准概要

微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

国家标准《微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位天津大学、中机生产力促进中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、南京理工大学、中国电子科技集团公司第十三研究所。主要起草人胡晓东、郭彤、于振毅、李海斌、程红兵、裘安萍、崔波、朱悦。 GB/T 34893-2017 现行

基础信息

标准号 GB/T 34893-2017

发布日期 2017-11-01

实施日期 2018-05-01

标准号 GB/T 34893-2017

发布日期 2017-11-01

实施日期 2018-05-01

起草单位

天津大学