标准概要

微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

国家标准《微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位天津大学、中机生产力促进中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、南京理工大学、中国电子科技集团公司第十三研究所。主要起草人胡晓东、郭彤、于振毅、李海斌、程红兵、裘安萍、崔波、朱悦。 GB/T 34893-2017 现行

基础信息

标准号 GB/T 34893-2017

发布日期 2017-11-01

实施日期 2018-05-01

标准号 GB/T 34893-2017

发布日期 2017-11-01

实施日期 2018-05-01

起草单位

天津大学

国家仪器仪表元器件质量监督检验中心

中国电子科技集团公司第十三研究所

中机生产力促进中心

南京理工大学

起草人

胡晓东

郭彤

程红兵

裘安萍

于振毅

李海斌

崔波

朱悦

推荐标准

GB/T 20438.2-2006 电气/电子/可编程电子安全相关系统的功能安全第2部分: 电气/电子/可编程电子安全相关系统的要求

GB/T 18380.11-2022 电缆和光缆在火焰条件下的燃烧试验第11部分：单根绝缘电线电缆火焰垂直蔓延试验　试验装置

GB/T 38413-2019 纺织品细颗粒物过滤性能试验方法

GB/T 23342-2009 往复式内燃机回弹式绳索起动装置基本安全要求

GB/T 38319-2019 建筑及居住区数字化技术应用智能硬件技术要求

GB/T 3858-1993 液力传动术语

GB/T 20491-2006 用于水泥和混凝土中的钢渣粉

GB/T 17626.14-2005 电磁兼容试验和测量技术电压波动抗扰度试验

GB/T 19755-2005 轻型混合动力电动汽车污染物排放测量方法

GB 16233-1996 车间空气中乙酸卫生标准

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

安全梯笼团体标准

做团体标准要那些条件

团体标准案例

团体标准流程

可以制定团体标准的团体

农村土地征收标准

重庆市农村土地征收标准

拟定团体标准

办理团体标准申请流程步骤

团体标准公开声明