标准概要

微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

国家标准《微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位天津大学、中机生产力促进中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、南京理工大学、中国电子科技集团公司第十三研究所。主要起草人胡晓东、郭彤、于振毅、李海斌、程红兵、裘安萍、崔波、朱悦。 GB/T 34893-2017 现行

基础信息

标准号 GB/T 34893-2017

发布日期 2017-11-01

实施日期 2018-05-01

标准号 GB/T 34893-2017

发布日期 2017-11-01

实施日期 2018-05-01

起草单位

天津大学

国家仪器仪表元器件质量监督检验中心

中国电子科技集团公司第十三研究所

中机生产力促进中心

南京理工大学

起草人

胡晓东

郭彤

程红兵

裘安萍

于振毅

李海斌

崔波

朱悦

推荐标准

GB/T 6087-2003 扳手三爪钻夹头

GB 12521-1990 空气潜水减压技术要求

GB 4234.2-2024 外科植入物金属材料第2部分：纯钛

GB/T 16656.43-2008 工业自动化系统与集成产品数据表达与交换第43部分：集成通用资源：表达结构

GB/T 26610.2-2022 承压设备系统基于风险的检验实施导则第2部分：基于风险的检验策略

GB/T 4706.1-2024 家用和类似用途电器的安全第1部分：通用要求

GB/T 16484.19-1996 氯化稀土、碳酸稀土化学分析方法氧化稀土总量的测定

GB/T 7962.22-1987 无色光学玻璃测试方法折射率温度系数测试方法

GB/T 38102-2019 湿法磷酸及磷肥生产中氟硅酸废液处理处置方法

GB/T 7025.1-1997 电梯主参数及轿厢、井道、机房的形式与尺寸第一部分:Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ类电梯

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

团体标准跟行业标准的区别

团体标准不公开

国家实行团体标准

办理团体标准申请流程步骤

针灸团体标准

参编团体标准

地方标准和团体标准哪个含金量高

团体标准制定一般要多少费用

怎样才能团体标准制定

做团体标准制定全部流程