LED行业用氨气处理指南

国家标准《LED行业用氨气处理指南》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 苏州金宏气体股份有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、高麦仪器公司 、广东华特气体股份有限公司 、东莞市技顶电子科技有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 。 主要起草人 孙猛 、金向华 、牛艳东 、傅铸红 、杜汉盛 、张晓东 、郭秀丽 、方华 、周鹏云 。 GB/T 35315-2017 现行