标准概要

电子级三甲基铝

Electronic grade trimethylaluminium

国家标准《电子级三甲基铝》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院。主要起草人陈化冰、孙明璐、王香、曹可慰。 GB/T 36653-2018 现行

基础信息

标准号 GB/T 36653-2018

发布日期 2018-09-17

实施日期 2019-01-01

标准号 GB/T 36653-2018

发布日期 2018-09-17

实施日期 2019-01-01

起草单位

江苏南大光电材料股份有限公司

中国电子技术标准化研究院

起草人

陈化冰

孙明璐

王香

曹可慰

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