标准概要

硅多晶真空区熔基硼检验方法

Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method

国家标准《硅多晶真空区熔基硼检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业（青海）有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、峨嵋半导体材料研究所。主要起草人胡伟、刘晓霞、耿全荣、鲁文锋、王桃霞、胡自强、宗冰、肖建忠、万烨、杨旭。 GB/T 4060-2007 （全部代替） GB/T 4060-2018 现行

基础信息

标准号 GB/T 4060-2018

发布日期 2018-09-17

实施日期 2019-06-01

全部代替标准 GB/T 4060-2007

标准号 GB/T 4060-2018

发布日期 2018-09-17

实施日期 2019-06-01

全部代替标准 GB/T 4060-2007

起草单位

江苏中能硅业科技发展有限公司

洛阳中硅高科技有限公司

亚洲硅业（青海）有限公司

峨嵋半导体材料研究所

起草人

胡伟

刘晓霞

王桃霞

胡自强

万烨

杨旭

耿全荣

鲁文锋

宗冰

肖建忠

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