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标准概要
氮化镓外延片及衬底片通用规范
General specification for epitaxial wafers and substrates based on gallium nitride
国家标准《氮化镓外延片及衬底片通用规范》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 东莞市中镓半导体科技有限公司 、合肥彩虹蓝光科技有限公司 、苏州纳维科技有限公司 、南京大学电子科学与工程学院 、中国电子技术标准化研究院 。 主要起草人 丁晓民 、刘南柳 、潘尧波 、徐科 、修向前 、孙永健 、王香 、张国义 。 GB/T 37053-2018 现行
基础信息
标准号
GB/T 37053-2018
发布日期
2018-12-28
实施日期
2019-07-01
标准号
GB/T 37053-2018
发布日期
2018-12-28
实施日期
2019-07-01
起草单位
东莞市中镓半导体科技有限公司
苏州纳维科技有限公司
中国电子技术标准化研究院
合肥彩虹蓝光科技有限公司
南京大学电子科学与工程学院
起草人
丁晓民
刘南柳
修向前
孙永健
潘尧波
徐科
王香
张国义
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申明
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