电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

国家标准《电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 江苏中能硅业科技发展有限公司 、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 、有研半导体材料有限公司 、宜昌南玻硅材料有限公司 、新特能源股份有限公司 、洛阳中硅高科技有限公司 。 主要起草人 鲁文锋 、刘晓霞 、秦榕 、孙燕 、赵而敬 、王桃霞 、赵玉 、王忠慧 、柳德发 、张园园 、银波 、邱艳梅 、刘强 。 GB/T 37049-2018 现行