硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法

国家标准《硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 有研半导体材料有限公司 、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司 、中国计量科学研究院 、浙江省硅材料质量检验中心 、广州市昆德科技有限公司 、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 、天津市环欧半导体材料技术有限公司 、北京合能阳光新能源技术有限公司 。 主要起草人 曹孜 、孙燕 、黄黎 、赵而敬 、徐红骞 、高英 、石宇 、楼春兰 、王昕 、张雪囡 、林清香 、刘卓 、肖宗杰 。 GB/T 26068-2010 （全部代替） GB/T 26068-2018 现行