标准概要

硅片和硅锭载流子复合寿命的测试非接触微波反射光电导衰减法

Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots—Non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance method

国家标准《硅片和硅锭载流子复合寿命的测试非接触微波反射光电导衰减法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位有研半导体材料有限公司、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、中国计量科学研究院、浙江省硅材料质量检验中心、广州市昆德科技有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司。主要起草人曹孜、孙燕、黄黎、赵而敬、徐红骞、高英、石宇、楼春兰、王昕、张雪囡、林清香、刘卓、肖宗杰。 GB/T 26068-2010 （全部代替） GB/T 26068-2018 现行

基础信息

标准号 GB/T 26068-2018

发布日期 2018-12-28

实施日期 2019-11-01

全部代替标准 GB/T 26068-2010

标准号 GB/T 26068-2018

发布日期 2018-12-28

实施日期 2019-11-01

全部代替标准 GB/T 26068-2010

起草单位

有研半导体材料有限公司

中国计量科学研究院

广州市昆德科技有限公司

天津市环欧半导体材料技术有限公司

瑟米莱伯贸易（上海）有限公司

浙江省硅材料质量检验中心

江苏协鑫硅材料科技发展有限公司

北京合能阳光新能源技术有限公司

起草人

曹孜

孙燕

徐红骞

高英

王昕

张雪囡

肖宗杰

黄黎

赵而敬

石宇

楼春兰

林清香

刘卓

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