标准概要

确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer coordinate system

国家标准《确定晶片坐标系规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、浙江海纳半导体有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、上海合晶硅材料有限公司。主要起草人卢立延、孙燕、潘金平、杨素心、楼春兰、胡金枝、李素青。 GB/T 16596-1996 （全部代替） GB/T 16596-2019 现行

基础信息

标准号 GB/T 16596-2019

发布日期 2019-03-25

实施日期 2020-02-01

全部代替标准 GB/T 16596-1996

标准号 GB/T 16596-2019

发布日期 2019-03-25

实施日期 2020-02-01

全部代替标准 GB/T 16596-1996

起草单位

有色金属技术经济研究院

浙江海纳半导体有限公司

上海合晶硅材料有限公司

有研半导体材料有限公司

浙江省硅材料质量检验中心

起草人

卢立延

孙燕

楼春兰

胡金枝

潘金平

杨素心

李素青

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