标准概要

确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer coordinate system

国家标准《确定晶片坐标系规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、浙江海纳半导体有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、上海合晶硅材料有限公司。主要起草人卢立延、孙燕、潘金平、杨素心、楼春兰、胡金枝、李素青。 GB/T 16596-1996 （全部代替） GB/T 16596-2019 现行

基础信息

标准号 GB/T 16596-2019

发布日期 2019-03-25

实施日期 2020-02-01

全部代替标准 GB/T 16596-1996

标准号 GB/T 16596-2019

发布日期 2019-03-25

实施日期 2020-02-01

全部代替标准 GB/T 16596-1996

起草单位

有色金属技术经济研究院

浙江海纳半导体有限公司

上海合晶硅材料有限公司

有研半导体材料有限公司

浙江省硅材料质量检验中心

起草人

卢立延

孙燕

楼春兰

胡金枝

潘金平

杨素心

李素青

推荐标准

GB/Z 37627.3-2019 架空电力线路和高压设备的无线电干扰特性第3部分：减少无线电噪声至最小程度的实施规程

GB/T 20914.1-2007 冲模氮气弹簧第1部分：通用规格

GB/T 5796.4-2005 梯形螺纹第4部分：公差

GB/T 2521-2008 冷轧取向和无取向电工钢带（片）

GB/T 7568.4-2002 纺织品色牢度试验聚酯标准贴衬织物规格

GB/T 41125-2021 农业机械播种机减少气力系统风机排气对环境的影响

GB/T 20930-2007 锂带

GB/T 10661-2003 荧光增白剂VBL

GB/T 24675.6-2021 保护性耕作机械第6部分：秸秆粉碎还田机

GB/T 11951-1989 纺织品天然纤维术语

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

团体国家标准应由发布

国家团体标准

团体标准办理多少钱

团体标准制定需要些什么材料

团体标准、行业标准、国家标准

参编团体标准

团体标准发布在哪里

团体标准化

参编团体标准意义

中国团体标准