洁净机器人通用技术条件

国家标准《洁净机器人通用技术条件》 由TC591（全国机器人标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。 主要起草单位 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 、北京机械工业自动化研究所有限公司 、中国科学院沈阳自动化研究所 、东北大学 、大连理工大学 、沈阳芯源微电子设备有限公司 、中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 、北京锐洁机器人科技有限公司 、北京北方华创微电子装备有限公司 。 主要起草人 徐方 、邹风山 、尹作重 、李志海 、王金涛 、唐忠华 、谭学科 、边弘晔 、张锋 、秦修功 、吴成东 、丛明 、洪旭东 、刘在行 。 GB/T 37416-2019 现行