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标准概要
含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
Information model for containing process chamber IC equipment design
国家标准《含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型》 由TC159(全国自动化系统与集成标准化技术委员会)归口,TC159SC5(全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分会)执行 ,主管部门为中国机械工业联合会。 主要起草单位 中车信息技术有限公司 、清华大学 、北京机械工业自动化研究所有限公司 、中国石油规划总院 。 主要起草人 顾明 、程嘉 、李丽 、季林红 、陈莉 、曹自立 、张颖 、黎晓东 、王海丹 、王峰 。 GB/T 37959-2019 现行
基础信息
标准号
GB/T 37959-2019
发布日期
2019-08-30
实施日期
2020-03-01
标准号
GB/T 37959-2019
发布日期
2019-08-30
实施日期
2020-03-01
起草单位
中车信息技术有限公司
北京机械工业自动化研究所有限公司
清华大学
中国石油规划总院
起草人
顾明
程嘉
陈莉
曹自立
王海丹
王峰
李丽
季林红
张颖
黎晓东
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