标准概要

含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

Information model for containing process chamber IC equipment design

国家标准《含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型》由TC159（全国自动化系统与集成标准化技术委员会）归口，TC159SC5（全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分会）执行，主管部门为中国机械工业联合会。主要起草单位中车信息技术有限公司、清华大学、北京机械工业自动化研究所有限公司、中国石油规划总院。主要起草人顾明、程嘉、李丽、季林红、陈莉、曹自立、张颖、黎晓东、王海丹、王峰。 GB/T 37959-2019 现行

基础信息

标准号 GB/T 37959-2019

发布日期 2019-08-30

实施日期 2020-03-01

标准号 GB/T 37959-2019

发布日期 2019-08-30

实施日期 2020-03-01

起草单位

中车信息技术有限公司

北京机械工业自动化研究所有限公司

清华大学

中国石油规划总院

起草人

顾明

程嘉

陈莉

曹自立

王海丹

王峰

李丽

季林红

张颖

黎晓东

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