微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 东南大学 、华为技术有限公司 、佛山市川东磁电股份有限公司 、中机生产力促进中心 、浙江博亚精密机械有限公司 、沈阳国仪检测技术有限公司 、无锡华润上华科技有限公司 、北京大学 、中北大学 、中国科学院电子学研究所 、北京必创科技股份有限公司 。 主要起草人 王磊 、黄创君 、于振毅 、陆学贵 、朱悦 、夏长奉 、黄庆安 、龙克文 、石云波 、李海斌 、肖昆辉 、郑凤杰 、张威 、程逸轩 、马书嫏 、陈得民 。 GB/T 38341-2019 现行