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标准概要
微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
国家标准《微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法》 由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 北京大学 、中机生产力促进中心 、北京智芯传感科技有限公司 、沈阳国仪检测技术有限公司 、浙江博亚精密机械有限公司 、中北大学 、北京必创科技股份有限公司 。 主要起草人 张威 、张亚婷 、于振毅 、陆学贵 、朱悦 、石云波 、李海斌 、程逸轩 、周浩楠 、陈得民 。 GB/T 38447-2020 现行
基础信息
标准号
GB/T 38447-2020
发布日期
2020-03-06
实施日期
2020-07-01
标准号
GB/T 38447-2020
发布日期
2020-03-06
实施日期
2020-07-01
起草单位
北京大学
北京智芯传感科技有限公司
浙江博亚精密机械有限公司
北京必创科技股份有限公司
中机生产力促进中心
沈阳国仪检测技术有限公司
中北大学
起草人
张威
张亚婷
朱悦
石云波
周浩楠
陈得民
于振毅
陆学贵
李海斌
程逸轩
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