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微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
国家标准《微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法》 由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 北京大学 、中机生产力促进中心 、北京智芯传感科技有限公司 、沈阳国仪检测技术有限公司 、浙江博亚精密机械有限公司 、中北大学 、北京必创科技股份有限公司 。 主要起草人 张威 、张亚婷 、于振毅 、陆学贵 、朱悦 、石云波 、李海斌 、程逸轩 、周浩楠 、陈得民 。 GB/T 38447-2020 现行
  基础信息
标准号 GB/T 38447-2020
发布日期 2020-03-06
实施日期 2020-07-01
标准号 GB/T 38447-2020
发布日期 2020-03-06
实施日期 2020-07-01
  起草单位
  北京大学
  北京智芯传感科技有限公司
  浙江博亚精密机械有限公司
  北京必创科技股份有限公司
  中机生产力促进中心
  沈阳国仪检测技术有限公司
  中北大学
  起草人
  张威
  张亚婷
  朱悦
  石云波
  周浩楠
  陈得民
  于振毅
  陆学贵
  李海斌
  程逸轩
  推荐标准
  申明
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