基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

国家标准《基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法》 由TC153（全国电子测量仪器标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。 主要起草单位 沈阳建筑大学 、三英精控（天津）仪器设备有限公司 、广东工业大学 、中国计量科学研究院 、苏州昊通仪器科技有限公司 、沈阳理工大学 。 主要起草人 须颖 、戴敬 、邵萌 、安冬 、施玉书 、贾静 、戴超 、文杰 、石怀涛 。 GB/T 38614-2020 现行